Efecto de la concentración de Fe en las tensiones residuales de las películas delgadas de ZnO crecidas por rociado pirolítico
Palabras clave:
Rociado pirolítico, Esfuerzos residuales, Películas delgadas de Zn1-xFexO, FeResumen
En el presente trabajo de investigación se evaluó el efecto de la concentración de Fe sobre las tensiones residuales de las películas delgadas de Zn1-xFexO (x: 5, 10, 15 y 20%), crecidas por rociado pirolitico sobre sustratos de vidrio a la temperatura de 480°C. Como precursores se usaron una solución etanólica de acetato de zinc di-hidratado [Zn (CH3CO2)2.2H2O]-1,0 M y una solución acuosa de cloruro de hierro hexa-hidratado [FeCl3.6H2O]-1,0 M. La presión y flujo de aire durante el proceso de crecimiento, se fijaron en 2 kPa y 9 L/min, respectivamente. Los patrones de difracción de rayos X revelaron una estructura wurtzita típica del ZnO sin presencia de otras fases en todas las concentraciones de Fe estudiadas, confirmando la sustitución de iones de Fe+2 por iones de Zn+2. La incorporación de Fe (5-20%) revelaron bajas tensiones compresivas en el modelo uniaxial y altas tensiones tensiles en el modelo biaxial.Citas
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