Esfuerzos residuales versus temperatura del sustrato en películas de ZnO crecidas por rociado pirolítico

Ernesto Noriega, Luis Angelats, José Solís

Resumen


En el presente trabajo, se estudió la influencia de la temperatura del sustrato sobre los esfuerzos residuales de las películas de óxido de zinc (ZnO) crecidas por rociado pirolítico a las temperaturas entre 300ºC y 500ºC. Los sustratos utilizados fueron láminas de vidrio porta-objeto y como solución precursora se empleó acetato de zinc di-hidratado [Zn (CH3CO2)2.2H2O] disuelto en metanol a 0,2 M. La presión y flujo del aire fueron fijadas a 2,2 kPa y 5 L/min, respectivamente. Los patrones de difracción de rayos X, revelaron picos de difracción típicos de la estructura hexagonal wurtzita, con un mejoramiento en la cristalinidad y tendencia a un crecimiento preferencial en la dirección del eje c con el incremento de la temperatura del sustrato. El análisis de esfuerzos se realizó a partir de los datos de los Difractogramas de Rayos X. Se observó que los esfuerzos de tipo uniaxial cambiaron de compresivos a tensiles (-1,48 a 1,31 GPa) con el incremento de la temperatura del sustrato, siendo mínimos los cambios en los esfuerzos biaxiales.

Palabras clave


Películas de ZnO; Esfuerzos Residuales; Rociado Pirolítico

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