“Medida De Tensión Residual En Multicapas De TiN TaN Recubiertas Por Pulverización Catódica Por Magnetrón Con Voltaje De Polarización En Sustrato De Silicio (100)”. SCIÉNDO INGENIUM 21, no. 2 (julho 28, 2025): 81–89. Acesso em julho 19, 2026. https://revistas.unitru.edu.pe/index.php/PGM/article/view/6660.