“Medida De Tensión Residual En Multicapas De TiN TaN Recubiertas Por Pulverización Catódica Por Magnetrón Con Voltaje De Polarización En Sustrato De Silicio (100)”. SCIÉNDO INGENIUM, vol. 21, nº 2, julho de 2025, p. 81-89, https://doi.org/10.17268/scien.inge.2025.02.06.