“Medida de Tensión Residual en Multicapas de TiN/TaN recubiertas por Pulverización Catódica por Magnetrón con Voltaje de Polarización en Sustrato de Silicio (100)”, Scién. Inge., vol. 21, nº 2, p. 81–89, jul. 2025, doi: 10.17268/scien.inge.2025.02.06.