Medida de Tensión Residual en Multicapas de TiN/TaN recubiertas por Pulverización Catódica por Magnetrón con Voltaje de Polarización en Sustrato de Silicio (100). (2025). SCIÉNDO INGENIUM, 21(2), 81-89. https://doi.org/10.17268/scien.inge.2025.02.06