Medida De Tensión Residual En Multicapas De TiN TaN Recubiertas Por Pulverización Catódica Por Magnetrón Con Voltaje De Polarización En Sustrato De Silicio (100). Scién. Inge. 2025, 21 (2), 81-89. https://doi.org/10.17268/scien.inge.2025.02.06.