Diaz, J. E. ., L. M. . Angelats, y J. . Asencios. «Medida De Tensión Residual En Multicapas De TiN/TaN Recubiertas Por Pulverización Catódica Por Magnetrón Con Voltaje De Polarización En Sustrato De Silicio (100)». SCIÉNDO INGENIUM, vol. 21, n.º 2, julio de 2025, pp. 81-89, doi:10.17268/scien.inge.2025.02.06.