J. E. . Diaz, L. M. . Angelats, y J. . Asencios, «Medida de Tensión Residual en Multicapas de TiN/TaN recubiertas por Pulverización Catódica por Magnetrón con Voltaje de Polarización en Sustrato de Silicio (100)», Scién. Inge., vol. 21, n.º 2, pp. 81-89, jul. 2025.