Diaz, J. E. ., Angelats, L. M. . y Asencios, J. . (2025) «Medida de Tensión Residual en Multicapas de TiN/TaN recubiertas por Pulverización Catódica por Magnetrón con Voltaje de Polarización en Sustrato de Silicio (100)», SCIÉNDO INGENIUM, 21(2), pp. 81-89. doi: 10.17268/scien.inge.2025.02.06.