DIAZ, J. E. .; ANGELATS, L. M. .; ASENCIOS, J. . Medida de Tensión Residual en Multicapas de TiN/TaN recubiertas por Pulverización Catódica por Magnetrón con Voltaje de Polarización en Sustrato de Silicio (100). SCIÉNDO INGENIUM, [S. l.], v. 21, n. 2, p. 81-89, 2025. DOI: 10.17268/scien.inge.2025.02.06. Disponível em: https://revistas.unitru.edu.pe/index.php/PGM/article/view/6660. Acesso em: 2 ago. 2025.