Diaz, J.E. , Angelats, L.M. y Asencios, J. 2025. Medida de Tensión Residual en Multicapas de TiN/TaN recubiertas por Pulverización Catódica por Magnetrón con Voltaje de Polarización en Sustrato de Silicio (100). SCIÉNDO INGENIUM. 21, 2 (jul. 2025), 81-89. DOI:https://doi.org/10.17268/scien.inge.2025.02.06.